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滲透的生產過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術等去除;水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除;水中的有害物質，目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺滅有害物質的方法去除。
水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導致低擊穿，產生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此凈道開水器的高純水要求具有相當高的純度和精度。天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質，在生產高純水的過程中，加入了一些化學殺滅有害物質劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。這些都是為什么高純水不能作為飲用水的原因之一。
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